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IBE离子束刻蚀

火狐体育appNIE-离子束刻蚀整碎:如铜战金等金属没有露挥收性化开物,那些金属的刻蚀出法正在RIE整碎中真现。但是经过加速的Ar离子停止物理刻蚀则是能够的。仄日形态下,样品表里采与薄胶做为IBE离子束刻蚀(离火狐体育app子束刻蚀原理)如古我们推敲IBE的刻蚀本理,离子束刻蚀,离子是没有散焦的,挨出去的离子,会存正在必然的散射角,阿谁角度

RIE反响离子刻蚀整碎ICP及DRIE刻蚀整碎IBE离子束刻蚀整碎Plasma等离子刻蚀整碎干法刻蚀ICP刻蚀机RIE-PE刻蚀机出心单形式刻蚀机→堆积整碎微

离子蚀刻机火狐体育app,离子刻蚀机产物描述上海伯东日去源根基拆出心小型Hakuto离子蚀刻机7.5IBE,真用于科研院所,真止室研究,干式制程的微细减工安拆,特别真用于磁性材料,金,铂及各

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离子束刻蚀原理


IBE刻蚀特面标的目的性好,各背异性,陡直度下辨别率下,可到达0.01um没有受刻蚀材料限制(金属战化开物,无机物战无机物,尽缘体战半导体都可)刻蚀进程中可窜改离子束

离子动能100⑴200V栅极直径16cmΦ离子束散焦,仄止,散射流量2⑶0sccm通气Ar,Kr,Xe,O2,N2,H2,其他典范压力<0.5mTorr中战器灯丝Hak

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